微波ECR等离子体发生器校准规范 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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利用微波电子回旋共振(ECR)可以产生高密度的等离子体,选择不同的活性种粒分别对硅、砷化镓等半导体,Al, Cu, W, Ti 等金属,SiO2, Si3N4, Al2O3等无机物质和聚酰亚胺等有机物质,进行选择性刻蚀,制备大规模集成电路的芯片。现在的刻蚀技术,主要是采用电子束或同步辐射束曝光后,用微波ECR等离子体或ICP等离子体进行亚深微米刻蚀,微波ECR等离子刻蚀精度可以达到纳米级。...
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