T/CASME 581-2023
半导体用硅环技术要求

Technical requirements for silicon rings for semiconductors

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标准号: T/CASME 581-2023
发布: 2023年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/CASME 581-2023

本文件规定了半导体用硅环的术语和定义、生产加工、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、贮存和运输方面的内容。

T/CASME 581-2023相似标准

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