T/CNIA 0064-2020
多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

Determination of impurity content in dust-free wipes for the polysilicon industry - Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry


 

 

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标准号
T/CNIA 0064-2020
发布
2020年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CNIA 0064-2020
 
 
适用范围
本标准规定了多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定方法。 本标准适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定,测定范围为0.10 μg/g~10.00 μg/g。

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