运用蒙特卡罗模拟和显影动力学,探索了电子束光刻技术所能够实现~100 nm的波带片透镜(其中,100 nm波带片高宽比为16:1)、50~300 nm的分辨率测试板(其中,300 nm测试板高宽比为10:1)和200 nm的会聚透镜(高宽比为10:1)。对所研制的光学部件在同步辐射光源进行了实验表征。...
上海光源包括一台100MeV的电子直线加速器、一台能在0.5秒内把电子束从100MeV加速到3.5GeV全能量的增强器和一台3.5GeV的高性能电子储存环,以及首批建成的7+1条光束线站。上海光源储存环平均流强300mA,最小发射度4纳米弧度,束流寿命大于10小时。配以先进的插入件后,可在用户需求最集中的光子能区(0.1~40keV)产生高通量、高耀度的同步辐射光,光子亮度大于1019。...
X 射线机的峰值射线能量和强度都是可调的,实际应用的峰值射线能量范围从几KeV 到450KeV;直线加速器的峰值射线能量一般不可调,实际应用的峰值射线能量范围从1 ~16MeV,更高的能量虽可以达到,主要仅用于实验。电子辐射发生器的共同优点是切断电源以后就不再产生射线,这种内在的安全性对于工业现场使用是非常有益的。电子辐射发生器的焦点尺寸为几微米到几毫米。...
(2)能量色散光谱法:首先使用探测器接收所有不同能量的X荧光,由探测器转变为电脉冲信号,经前置放大之后用多道脉冲高度分析器进行信号处理,得到不同能量的X荧光光谱。波谱仪使用分光晶体,各元素的谱线进入探测器之前已被分光,探测器每次只能接受某一波长的谱线;而能谱仪使用的探测器和多道脉冲分析器,直接测量不同能量的元素的特征X谱线的能量。...
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