T/ICMTIA ESG0024-2022
集成电路用混合气体1.2%氦/氮

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标准号

T/ICMTIA ESG0024-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

 

 

适用范围

本文件规定了瓶装1.2%氦/氮混合气的技术要求、检验规则、试验方法以及标志、包装、运输、储存的要求。 本文件适用于集成电路用1.2%氦/氮混合气，其它组分比例的氦/氮混合气可以参考执行。

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