BS EN ISO 23216:2022
碳基薄膜 用光谱椭圆光度法测定非晶碳薄膜的光学性质

Carbon based films. Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry

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标准号

BS EN ISO 23216:2022

发布

2023年

发布单位

英国标准学会

当前最新

BS EN ISO 23216:2022

 

 

适用范围

1 范围 本文件规定了用于测定n-k平面内不同类型非晶碳薄膜的光学特性（折射率n和消光系数k）和光学分类的光谱椭圆光度法。 它适用于电离蒸发、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝技术等沉积的非晶碳薄膜。 它不适用于用金属或硅改性的碳膜、在厚度、油漆和清漆中具有成分/性能梯度的无定形碳膜。

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