ISO 21360-5:2023
真空技术 — 测量真空泵性能的标准方法 — 第 5 部分：非蒸发吸气剂 (NEG) 真空泵
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 5: Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps
- 标准号
- ISO 21360-5:2023
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 21360-5:2023
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