IEEE 压电晶体标准 1949 年, 您可以免费下载预览页
由于晶体管器件尺寸的不断减小,作为MOSFET中栅极氧化物,氧化硅已经渐渐不能满足要求,2000年代中期氧化铪作为取代物渐渐出现在研究人员视线中 [i],该材料是一种高k介电材料,也是少数与硅能保持热力学稳定的二元氧化物之一。因此,它可以自然地集成在逻辑元件和存储器设备中。例如,英特尔早在2007年就已经宣布在其处理器中加入铪基高k金属栅极[ii]。...
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