GOST R 71024-2023
用于光掩模的掩模板 术语和定义
Masked plates for photomasks. Terms and definitions
- 标准号
- GOST R 71024-2023
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- GOST
- 当前最新
- GOST R 71024-2023
- 适用范围
- Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов. Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и контроля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ
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