gas sensor 与会专家和学者相互交流研究工作的成果、经验以及最近的技术进展,包括表面声波、体声波器件新的设计,优化、制作工艺和材料特性的研究。...
gas sensor 与会专家和学者相互交流研究工作的成果、经验以及最近的技术进展,包括表面声波、体声波器件新的设计,优化、制作工艺和材料特性的研究。...
此处主要介绍通信中较为特别的MEMS器件,主要为与射频相关MEMS器件。 通信系统中,大量不同频率的频带被使用以完成通讯功能,而这些频带的使用离不开频率的产生。声表面波器件,作为一种片外(off-chip)器件,与IC集成难度较大。表面声波(SAW)滤波器曾是手机天线双工器的中流砥柱。2005年,安捷伦科技推出基于MEMS体声波(BAW)谐振器的频率器件(滤波器),该技术能够节省四分之三的空间。...
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