配置了优于影象法和轴切法的双光束干涉条纹测量法使微机型万工显系统性能得到了大大提高，软件的可组合性和可开发性增强了系统的功能，在更大范围内满足广大用户的需要。微机型工具显微镜是机械、电子制造业、计量测试所广泛使用的一种多用途计量仪器。可以用来测量量程内的任何零件的尺寸、形状、角度和位置。典型测量对象有：测量各种成型零件如样板、样板车刀、样板铣刀、冲模和凸轮的形状。...
普通型小型主要用途IM系列工具显微镜能方便地读取千分表头示值，测量工件的孔径、孔距等尺寸以及角度、使用任选的目镜组还能检验螺纹以及齿轮形状等。设计非常紧凑、重量轻、最适合设置在加工现场受到限制的场所。...
典型测量对象有: 测量各种成型零件如样板、样板车刀、样板铣刀、冲模和凸轮的形状。 测量外螺纹(螺纹塞规、丝杆和蜗杆等)的中径、小径、螺距、牙型半角。 测量齿轮滚刀的导程、齿形和牙型角。 测量电路板、钻模或孔板上的孔的位置度，键槽的对称度等形位误差。 ...
2.3.3 叶片特殊特征参数测量评价 叶片气膜孔结构复杂，基准有榫头或叶身迭代点两种形式，叶片型面为自由曲面，气膜孔分布在叶身上且数量较多，角度多变， 孔径一般为 0. 3 ~ 0. 8 mm。目前，气膜孔缺乏加工规范和有效的检测手段，其质量主要由工艺保证，采用接近气膜孔径的量棒、针规、塞规等进行测量，得出的孔径为气膜孔的近似值，且难以测量气膜孔的位置度。...
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