SJ/T 11763-2020
半导体制造设备人机界面规范

Specification for human-machine interface for semiconductor manufacturing equipment

SJT11763-2020, SJ11763-2020


SJ/T 11763-2020 发布历史

SJ/T 11763-2020由工业和信息化部 发布于 2020-12-09，并于 2021-04-01 实施。

。

SJ/T 11763-2020的历代版本如下：

 

标准号
SJ/T 11763-2020
别名
SJT11763-2020
SJ11763-2020
发布
2020年
发布单位
工业和信息化部
当前最新
SJ/T 11763-2020
 
 

SJ/T 11763-2020相似标准

BS EN 62779-1:2016 半导体器件. 人体沟通的半导体界面. 通用要求 GB/T 22582-2008 电力电容器.低压功率因数补偿装置 KS C IEC 60204-33-2010(2020) 安全指南半导体制造设备 BS EN 60204-33:2011 机械安全.机械的电气设备.半导体制造设备要求 NF C96-779-1*NF EN 62779-1:2016 半导体器件 人体沟通的半导体界面 第1部分：通用要求

SJ/T 11763-2020 中可能用到的仪器设备

半导体专用检测仪器设备


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号