表面声波(SAW)滤波器曾是手机天线双工器的中流砥柱。2005年,安捷伦科技推出基于MEMS体声波(BAW)谐振器的频率器件(滤波器),该技术能够节省四分之三的空间。BAW器件不同于其他MEMS的地方在于BAW没有运动部件,主要通过体积膨胀与收缩实现其功能。...
国家标准《半导体器件 微电子机械器件 第7部分:用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器》 由339-1(工业和信息化部(电子))归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。 主要起草单位:中国电子技术标准化研究院、中国电子信息产业集团有限公司、河北美泰电子科技有限公司、北京大学、北京必创科技股份有限公司、天津大学。...
在微电子、光电子、MEMS封装方面,等离子技术正广泛应用于封装材料清洗及活化,对解决电子元器件存在的表面沾污、界面状态不稳定、烧结及键合不良等缺陷隐患,提升质量管理和工序控制能力具有可操作性的积极作用,改善材料表面特性,提高封装产品性能,需要选择合适的清洗方式和清洗时间,对提高封装质量和可靠性极为重要。...
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