ASTM E493/E493M-11(2022)
在内向外测试模式下使用质谱检漏仪的泄漏标准实践

Standard Practice for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode

标准号

ASTM E493/E493M-11(2022)

发布

2022年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM E493/E493M-11(2022)

 

 

引用标准

ANSI/ASNT CP-189 ASTM E1316 MIL-STD-410

适用范围

1.1 本实践2涵盖了测试之前密封的设备的程序，例如半导体、密封继电器、烟火设备等，以防止通过外壳壁的泄漏。它们可以以不同程度的灵敏度使用（取决于内部体积、外壳的强度、可用于准备测试的时间以及外壳材料对氦气的吸附特性）。在一般实践中，氦气的灵敏度限值为 10−10 至 10−6 Pa m3 /s（0°C 时为 10−9 标准 cm3 /s 至 10−5 标准 cm3 /s），尽管这些限值可能会被超出在某些情况下，朝任一方向发展数十年。
1.2 描述了两种测试方法：
1.2.1 测试方法 A——通过轰炸制备测试部件。
1.2.2 测试方法 B——通过预填充制备测试部件。
1.3 单位——以 SI 或 std-cc/sec 单位表示的值应单独视为标准。每个系统中规定的值可能并不完全相同：因此，每个系统应独立使用。组合两个系统的值可能会导致不符合标准。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。
1.5 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。

ASTM E493/E493M-11(2022)相似标准

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