KS I ISO 14644-15-2019
洁净室和相关的受控环境.第15部分:用空气中的化学浓度评估设备和材料的适用性

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration

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标准号

KS I ISO 14644-15-2019

发布日期

2019年06月13日

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

13.040.35

发布单位

KR-KS