为避免硅料与坩埚接触污染硅锭。 装料时按照坩埚底大块硅料、上面细硅料的原则,硅料缝隙间用细小硅料填充。 坩埚喷涂烧结设备、工模具、材料:坩埚喷涂站、坩埚烧结炉、恒温箱、红外测温枪、防护服、电动吸等;石英坩埚、氮化硅粉、纯水、压缩空气 装料设备、工模具、材料:硅锭运转车、石墨护板、防护服、电子秤、工业吸尘器;石英坩埚、硅料、硼母合金。 ...
单晶硅制备-精准控温制备单晶硅的方法有直拉法( CZ 法)、区熔法( FZ 法)等,高纯度、性能优良的单晶硅棒的制备,需要准确控制工艺温度参数,从而准确掌握晶体生长过程中的加热情况。实际应用中,针对单晶生长炉,需要通过小尺寸的窗口对其真空腔室内部的加热器和坩埚进行精准测温。...
连续提拉法晶体生长是一项复杂而具有市场潜力的技术,传统的提拉法晶体生长,由于坩埚溶液液面下降,导致坩埚内壁裸露,由于坩埚内壁的温度很高,因而对晶体、熔体中的温度场影响很大;而连续提拉法晶体生长能够很好的解决这一问题。同时,相比于传统的提拉法,CCZ的连续加料技术将有效的降低生产单晶硅晶圆的成本。...
二、 单晶硅生长(用直拉法制造晶圆的流程图)晶圆企业常用的是直拉法,如上图所示,高纯度的多晶硅放在石英坩埚中,并用外面围绕着的石墨加热器不断加热,温度维持在大约一千多摄氏度,炉中的空气通常是惰性气体,使多晶硅熔化,同时又不会产生不需要的化学反应。...
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