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SEM/EDS 通常用于深度研究,例如,成因研究,这类研究需要更详细的数据信息,例如,颗粒的元素组成。图 5:3 种颗粒分析方法的性能对比:光学显微镜技术、扫描电子显微镜 (SEM),以及微计算机断层扫描技术(微型 CT)在颗粒检测方面,显微镜的光学分辨率是限制因素。光学系统本身无法分辨颗粒,因为它的尺寸低于分辨率阈值,所以无法识别颗粒的细节部分。...
采用不同的提取法可以清除部件表面的颗粒污染,例如,超声波降解、压力冲洗、功能测试台、搅动,随后转移到膜过滤器上,例如,通过过滤提取液将其转移到膜过滤器上。在分析阶段,根据粒径大小和材质属性,采用不同的技术来评估颗粒,例如,光学显微镜、扫描电子显微镜 (SEM),或 X 射线能量色散谱 (EDS)。清洁度分析的步骤如图 4 所示。颗粒分析技术对比参见图 5。...
采用不同的提取法可以清除部件表面的颗粒污染,例如,超声波降解、压力冲洗、功能测试台、搅动,随后转移到膜过滤器上,例如,通过过滤提取液将其转移到膜过滤器上。在分析阶段,根据粒径大小和材质属性,采用不同的技术来评估颗粒,例如,光学显微镜、扫描电子显微镜 (SEM),或 X 射线能量色散谱 (EDS)。清洁度分析的步骤如图 4 所示。颗粒分析技术对比参见图 5。...
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