设备特点• 13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性与可重复性• 灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案,确保大批量处理的均匀性• 精准安全的反应源供应系统,可满足多种工艺需求• PLC与工控机提供稳定的过程控制,设备运行的实时参数通过显示屏直观呈现• 系统稳定可靠,易于保养与维护Triton160 标准技术规格设备尺寸宽*深*高700W x 1200D x 1810H mm...
前馈技术既提供了较高校准精度的优点,又没有不稳定和带宽受限的缺点。当然,这些优点是用高成本换来的,由于在输出校准,功率电平较大,校准信号需放大到较高的功率电平,这就需要额外的辅助放大器,而且要求这个辅助放大器本身的失真特性应处在前馈系统的指标之上。前馈功放的抵消要求是很高的,需获得幅度、相位和时延的匹配,如果出现功率变化、温度变化及器件老化等均会造成抵消失灵。...
前馈技术既提供了较高校准精度的优点,又没有不稳定和带宽受限的缺点。当然,这些优点是用高成本换来的,由于在输出校准,功率电平较大,校准信号需放大到较高的功率电平,这就需要额外的辅助放大器,而且要求这个辅助放大器本身的失真特性应处在前馈系统的指标之上。 前馈功放的抵消要求是很高的,需获得幅度、相位和时延的匹配,如果出现功率变化、温度变化及器件老化等均会造成抵消失灵。...
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