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根据检测仪器的精度至少要高于待检测产品的4倍的约定,则道间距的检测工具的标准偏差应小于2 nm,AFM能有效地满足这样的检测要求。CD/DVD光盘测试参数CD/DVD光盘参数主要分为机械参数、光学参数和记录参数[3-4]。盘片播放时,记录参数真正反映了盘片的播放性和兼容性,因此记录参数是盘片测试的重点。...
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