目前，气体传感器的应用日趋广泛，在物联网等泛在应用的推动下，其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点，MEMS技术为解决MOS气体传感器的该类问题提供了强有力的有效途迳和方案。...
微型化与制造技术的进展，为MEM传感器S产业的厂商开启了崭新的市场。为了监测与对抗都市中日益增加的空气污染危机，很快地将在智能手机、穿戴式设备与室内监测设备中看到气体传感器。根据IDTechEx估计，代工厂在未来几年内将生产数百万个气体传感器组件。 金属氧化物(MOS)气体传感器是1950年代日本神户的研究开发成果。...
它们不与氧气反应，因此不会产生氧化物。许多制造商将陶瓷用作传感器基板。 四、传感器制造 微传感器技术使用了常规硅平面IC技术中遵循的基本制造步骤以及一些其他步骤。目前，互补金属氧化物半导体（CMOS）是微传感器中最chang用的技术。微传感器是使用商业CMOS IC工艺和随后的批量微加工技术设计和制造的，确切具体的步骤因传感器而异。 ...
据了解，四方光电目前通过在材料学、MEMS技术与工艺、超低静音直流无刷风扇等关键技术上实现突破，拓展传感器技术创新的深度与广度，构建企业发展的“护城河”。四方光电芯片车间，研发生产人员正进行MEMS技术的MOX（金属氧化物半导体）芯片生产。长江日报记者周超 摄让优秀人才入股持续点燃创新激情2021年2月9日，四方光电登陆科创板，“企业发展，需要有改变社会的决心，更要有源源不断自发成长的人才。”...
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