T/CNIA 0101-2021
绿色设计产品评价技术规范 碳化硅单晶抛光片

 

 

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标准号
T/CNIA 0101-2021
发布
2021年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CNIA 0101-2021
 
 
适用范围
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品评价的评价要求、生命周期评价报告编制方法、评价方法和流程。 本文件适用于物理气相传输法生产的4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品的评价。

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