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光学组件的表面质量是对可能会在制造和处理过程中产生的表面缺陷(划痕和凹坑或麻点)的评估。表面质量对激光应用比对成像应用更重要,因为表面缺陷可能会引发激光诱导损伤。需要大功率的敏感系统也可能会因为表面缺陷而形成光通量变化和散射的增加。比起适用于可见光或 IR 系统的光学元件,适用于 UV 波长的光学元件对表面质量公差的要求更严格,因为波长越短,接受的散射量越高。...
缺陷包括研磨和抛光过程留下的表面下损伤、光学元件上留下的抛光磨粒的极小颗粒,或镀膜上留下的一团团金属元素。每个缺陷源都表现出不同的吸收特性,因为任何给定缺陷的性质和大小都将决定光学元件在不造成损伤的情况下能够承受的激光强度。如前所述,脉冲持续时间对导致激光损伤的机制有很大的影响(图 5)。...
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