DIN 50433-3:1982
半导体工艺材料的检验.第3部分:采用劳埃反向散射法测定单晶体取向

Testing of materials for semiconductor technology; determination of the orientation of single crystals by means of Laue back scattering

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标准号: DIN 50433-3:1982
发布: 1982年
发布单位: 德国标准化学会
当前最新: DIN 50433-3:1982

适用范围: 半导体技术材料测试；通过劳厄背散射确定单晶的取向半导体技术材料测试； PA法测定单晶取向

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DIN 50433-3:1982半导体工艺材料的检验.第3部分:采用劳埃反向散射法测定单晶体取向

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