赤峰盛森硅业科技发展有限公司的气相法二氧化硅和硅烷气项目,在硅产业园区内部形成了一个完整的物料闭路循环体系:气相法二氧化硅项目以四氯化硅和氢气为原料,副产品为盐酸;盐酸解析出的氯化氢与硅粉反应生产三氯氢硅,副产的氢气用于生产气相法二氧化硅;三氯氢硅经歧化催化反应生产电子级的高纯硅烷气;硅烷气生产过程中副产大量的四氯化硅再用于气相法二氧化硅产品的生产。...
四氯化硅在高温下气化(火焰温度1000~1800℃)后,与一定量的氢和氧(或空气)在1800℃左右的高温下进行气相水解;此时生成的气相二氧化硅颗粒极细,与气体形成气溶胶,不易捕集,故使其先在聚集器中聚集成较大颗粒,然后经旋风分离器收集,再送入脱酸炉,用含氮空气吹洗气相二氧化硅至PH值为4~6即为成品。...
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