无源干扰物 空心型镀铝玻璃纤维束规范 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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电子束蒸发是将蒸发材料放入冷水坩埚中,电子束在磁场作用下聚焦到蒸发源材料表面,实现对源材料的轰击,将电子的动能转换为源材料的热能,从而使蒸发材料熔融汽化并凝结在基板成膜。根据电子发射机制不同,电子枪可分为热阴极型(由难熔金属制成的灯丝发射热电子)和空心阴极型(由惰性气体电离形成的等离子体引出电子)两大类。...
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