T/CHBAS 54-2024
电子工业用气体 三氟化氮混合气


 

 

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标准号
T/CHBAS 54-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CHBAS 54-2024
 
 
适用范围
本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气（以下简称三氟化氮混合气） 的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 储存和安全的要求。 本文件适用于半导体电子工业领域。 本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气，也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应，且不影响反应工艺的平衡气。

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