成功的测试经过数月的时间，我们开发了一套双腔体的检漏测试系统。这套系统可以用来测试压力大于360bar环境下的漏率，并且可测定的漏率高于10-6mbarl/sec。经过对比测试：1升的容器中的压力会升高到百万分之一毫巴每秒。系统的设计随着阀压到达一定压力，两个腔体中的一个腔体是在真空条件下第一个用来测试阀座内部泄露的。任何的泄露会被在阀门出口处检测，这样就能确保读出准确的阀门内部的漏率。...
图1 比较法校准氦真空参考漏孔漏率示意图校准程序校准程序如下： (a) 将待校参考标准漏孔1 连接到氦质谱检漏仪的校准装置上; (b) 打开漏孔阀门2、3，利用氦质谱检漏仪对参考漏孔和标准漏孔抽真空，使校准室压力小于1×10- 3Pa; (c) 分别打开标准漏孔阀门3，逐一测出不同量级漏率的标准漏孔对应的反应值，关闭标准漏孔阀门3，打开要校准的参考漏孔，测得另一反应值，选择两反应值尽可能相近或同一数量级的标准漏孔作为比对的标准漏孔...
确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。3. 先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。4. 测漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。5. 缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。6. 对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。...
阀门多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏, 其最小可检查漏率为5X10-12 mbar l/s.三、阀门检漏操作 1. 如下图所示, 工作人员用波纹管连接待检测的直通阀与德国Pfeiffer HLT 560氦质谱检漏仪. 2. 启动DUO 旋片泵, 直通阀抽真空, 同时启动氦质谱检漏仪并显示一个漏率值....
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