(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。 ...
检测设备Tramex HYGRO-i2 PROBETramex Hygro-i2®相对湿度探头是目前最先进的、有弹性和可重复使用的RH探头,满足ASTM F 2170规范,广泛应用于混凝土、地板的水分含量测定和室内空气质量评估。RH传感器参数:测量范围:0%-100%RH测量精度:0%-99%RH±2.0%RH (在77ºF或25ºC时)分辨率:1%漂移:...
这是我国目前唯一的水上移动污染源水污染物排放控制标准,适用于各种船舶,几乎涵盖除军事船舶之外的所有船舶。 新标准覆盖范围包括船舶含油污水、生活污水、含有毒液体物质的污水和船舶垃圾。其中,船舶含油污水包括机器处所油污水和含货油残余物的油污水;船舶生活污水是指船舶上主要由人员生活产生的污水。...
(1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。 ...
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