21/30432242 DC
BS IEC 62047-42 半导体器件微机电装置第42部分.压电MEMS悬臂梁机电转换特性的测量方法

BS IEC 62047-42. Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 42. Measurement methods of electromechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

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标准号: 21/30432242 DC
发布: 2021年
发布单位: 英国标准学会
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(3) 微机械在各学科领域的应用研究由于MEMS产品结构的特殊性，对其生产过程中的材料、关键工艺的控制一直是国际上关注的热点，作为国际上最为活跃的MEMS标准化组织IEC/TC47/SC47F（MEMS分技术委员会）近年来制定一系列标准，如IEC 62047-17《半导体器件微电子微机械器件第17部分：薄膜材料的膨胀机械性能测量方法》、IEC 62047-18《半导体器件微电子微机械器件第18...

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