非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 KS B 4074-1972(2011) 前三页，或者稍后再访问。
您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。 早期的椭偏研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展和应用使椭偏数据的拟合分析变得容易，促使椭偏仪在更多的领域得到应用。...
早期的椭偏研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展和应用使椭偏数据的拟合分析变得容易，促使椭偏仪在更多的领域得到应用。硬件的自动化和软件的成熟大大提高了运算的速度，成熟的软件提供了解决问题的新方法，因此，椭偏仪已被广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。...
椭偏仪1是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于厚度和折光率测量精度高，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。利用椭偏仪来测量薄膜的过程就是椭偏仪测量。...
最初，椭偏仪的工作波长多为单一波长或少数独立的波长，最典型的是采用激光或对电弧等强光谱光进行滤光产生的单色光源。大多数的椭偏仪在很宽的波长范围内以多波长工作（通常有几百个波长，接近连续）。和单波长的椭偏仪相比，光谱型椭偏仪有下面的优点：可以提升多层探测能力，可以测试物质对不同波长光波的折射率等。 椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号