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光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。 ...
扫描式电子显微镜大倍数：20×-130,000×。 分辨率：优于17nm。 电子枪：1500小时CeB6灯丝。 抽真空时间：10秒。 样品移动方式：自动马达样品台。 样品定位方式：光学和低倍电子双重导航。 样品导电性要求：无需喷金，直接观测绝缘体。 拓展功能：颗粒分析系统、3D粗糙度重建、纤维统计测量、孔径测量系统、高倍拼图等。 ...
这些特点使系统成为测量有着陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有异种材料样品的理想设备。高品质干涉光学系统和集成压电扫描器是干涉轮廓仪部分的关键。这项技术对于测量非常光滑至适度粗糙的表面比较理想。这些技术的组合为neox轮廓仪提供了无限宽广的应用领域。可用于标准的明场彩色显微成像、共焦成像、三维共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度测量。...
Fister博士说：“我们之前的系统也可提供快速、准确的测量结果，但现在有了新的Contour Elite 3D光学显微镜后，我们可同时获得客户样本的纳米计量数据和真实图像。使用高清晰度和彩色成像的能力允许我们能够基于色彩、增加的其他强大的能力来分段数据到我们的测量服务中。Contour Elite为我们的客户报告提供直观定位样品表面以及惊人的成像结果。” ...
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