T/ZSA 39-2020
石墨烯测试方法 功函数的测定 紫外光电子能谱法

Characterization of Graphene - Work function - Ultraviolet photoelectron spectroscopy (UPS) method


 

 

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标准号
T/ZSA 39-2020
发布
2020年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ZSA 39-2020
 
 
适用范围
导电薄膜功函数的确定在显示器件应用时起到至关重要的作用。随着基于石墨烯等新材料技术的柔性显示器的批量应用,准确测定石墨烯柔性导电薄膜功函数在产业化方面的需求越来越大。 目前为止主流的功函数测试方法是开尔文探针力显微镜(KPFM)法。该方法准确,且可同时获得测试范围内的材料形貌等信息,因此被市场广泛采用,用来测试上一代非柔性显示器件中氧化铟锡(ITO)玻璃的功函数。KPFM方法的缺点是测试时间相对较长,且测试范围较小,通常为几十至几百平方微米。 于石墨烯薄膜的缺陷度较高,因此功函数在膜片中的分布均匀性较ITO玻璃低。此时,光电子能谱法(UPS法)测试功函数的优点逐渐显现。首先,UPS法的最大测试范围可至2 mm╳2 mm,一定程度上规避了KPFM过于微观的特性。其次,UPS测试便捷、快速,可以在几分钟内得到测试结果。此外,UPS法还能同时得到样品的能带信息。 因此,UPS法测功函数可作为KPFM方法的有益补充。KPFM方法适用于对于研发等对微观精度要求高的场合,UPS方法可快速准确获得宏观薄膜的整体功函数情况,适用于批量交付产品中的质量控制。 本文件规范了UPS法测功函数的方法,以规范UPS法测功函数的基本操作,使此方法在以柔性显示器件为首的产业化进程中更好地发挥作用。

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