其优点在于能够观察样品表面的形貌特征、进行微区成分的相关分析等，实现对材料的定性、定量、线、面等分析。除此之外，电子探针还能够对样品表面呈现的二次电子像、X-ray 像、吸收电子像、背散射电子像等进行观察和分析。 电子探针在对物品进行观察和分析时，通常采用磨平或抛光等处理手段使样品表面保持光滑平整，以此得到类纳米级别的微观相分布，便于分析领域的人员对微观区域的准确定位与分析。...
在材料科学中，会聚束衍射技术主要用于：①确定晶体结构对称性，包括对称中心、滑移面、螺旋轴等的存在；②鉴定晶体的点群和空间群；③精确测定晶体的点阵常数、结构因子和样品厚度；④由高阶劳厄带（higherorderLauezone，即HOLZ）圆环的直径迅速测定层状结构晶体的层间周期等。...
，一种高分辨扫描透射成像技术，即高分辨或原子分辨率的原子序数（ Z）衬度像（ High Resolution or Atomic Resolution），在材料微观分析方面崭露头角，成为当代电子显微技术发展的新领域。...
最简单的方法是进行横穿试样的线扫描，同时观察花样的变化。 3.3 晶界、亚晶及孪晶性质的分析 得到EBSD整个扫描区域相邻两点之间的取向差信息后，可进行研究的界面有晶界、亚晶、相界、孪晶界、特殊界面（重合位置点阵CSL等）。...
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