T/CEC 636-2022
六氟化硫中氟化氢标准气体制备方法

Preparation method of hydrogen fluoride standard gas in sulfur hexafluoride


 

 

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标准号
T/CEC 636-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CEC 636-2022
 
 
适用范围
本文件规定了采用渗透原理动态制备六氟化硫气体中氟化氢标准气体的方法。 本文件适用于六氟化硫气体中氟化氢标准气体的制备,六氟化硫气体中其他组分标准气体(H2S、SO2)的制备可参照使用本方法。

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