3.2.8 位于工业洁净室直接上方的屋面应满足防水、保温要求,防水等级不应低于Ⅰ级。3.2.9工业洁净室的结构设计除满足承载力、变形要求外,有防微振要求的区域应进行防微振设计。3.2.10 对工业洁净室生产或实验有振动影响的工艺设备、动力设备及管线,应采取减振措施。3.2.11 工业洁净室内精密设备及仪器采用隔振装置时,隔振装置的外露部分应根据洁净度等级采取相应的防护措施。...
3.2.8 位于工业洁净室直接上方的屋面应满足防水、保温要求,防水等级不应低于Ⅰ级。 3.2.9工业洁净室的结构设计除满足承载力、变形要求外,有防微振要求的区域应进行防微振设计。 3.2.10 对工业洁净室生产或实验有振动影响的工艺设备、动力设备及管线,应采取减振措施。 3.2.11 工业洁净室内精密设备及仪器采用隔振装置时,隔振装置的外露部分应根据洁净度等级采取相应的防护措施。 ...
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电子制造业洁净室的特点:洁净度等级要求风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求非常严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。...
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