3英寸蓝宝石基板标准 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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作者设计了朝向蓝宝石A轴(C/A)的错切取向,其中A轴垂直于标准基板。尽管错切取向的变化不会影响外延关系,但是由此产生的阶梯边缘打破了反平行MoS2畴的成核能简并性,并导致超过99%的单向排列,从而解决了市场上C面蓝宝石基底外延生长TMDCs单晶存在的问题。通过显微镜、光谱和电学测量均表明,所制备的MoS2单晶具有极佳的晶圆级均匀性。...
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