ASTM F1711-96(2016)
使用四点探针法测量平板显示器制造薄膜导体的薄片电阻的标准实践

Standard Practice for Measuring Sheet Resistance of Thin Film Conductors for Flat Panel Display Manufacturing Using a Four-Point Probe Method

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标准号: ASTM F1711-96(2016)
发布日期: 2016年05月01日
实施日期
废止日期: 无
国际标准分类号: 31.120
发布单位: 美国材料与试验协会

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