DB35/T 1873-2019
热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
General Specifications for Thermal Spraying Rotating Silicon Targets
- 标准号
- DB35/T 1873-2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 福建省地方标准
- 当前最新
- DB35/T 1873-2019
- 适用范围
- 本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。
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