YS/T 1060-2015
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
Determination of other chlorosilanes in trichlorosilane for silicon epitaxy by gas chromatography
YST1060-2015, YS1060-2015
- 标准号
- YS/T 1060-2015
- 别名
- YST1060-2015, YS1060-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 工业和信息化部
- 当前最新
- YS/T 1060-2015
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