ASTM E2108-16
X射线光电子能谱仪的电子结合能量标尺的标准实践

Standard Practice for Calibration of the Electron Binding-Energy Scale of an X-Ray Photoelectron Spectrometer

标准号

ASTM E2108-16

发布

2016年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM E2108-16

 

 

引用标准

ASTM E1016 ASTM E1078 ASTM E1523 ASTM E456 ASTM E673 ASTM E902

适用范围

1.1 本实践描述了校准 X 射线光电子能谱仪的电子结合能 (BE) 标度的程序，该 X 射线光电子能谱仪用于对由非单色铝或镁 Kα X 射线或单色铝 Kα 激发的光电子进行光谱分析X 射线。
1.2 建议在仪器安装或进行任何实质性改造后对BE秤进行校准。建议按照选定的时间间隔进行额外检查，并在必要时进行重新校准，以确保在统计学上不可能进行 BE 测量，其不确定性大于分析人员根据仪器稳定性和分析人员的需求指定的容差限值。通过所提供的信息，分析人员可以为 BE 测量选择适当的容差限值和校准检查的频率。
1.3 这种做法基于以下假设：光谱仪的 BE 标度足够接近线性，以允许通过测量 BE 接近工作 BE 标度极值的参考光电子线进行校准。在大多数商业仪器中，采用带有铝或镁阳极的 X 射线源，并且通常至少在 0-1200 eV 范围内测量 BE。这种做法可用于 0 eV 至 1040 eV 的 BE 范围。
1.4 BE 标度是线性的假设通过使用出现在中间位置的参考光电子线或俄歇电子线进行的测量来检查。单一检查是建立 BE 标度线性的必要条件，但不是充分条件。可以使用配备镁或非单色铝 X 射线源的仪器上的指定参考线、二级 BE 标准或按照仪器制造商的程序进行附加检查。由于机械未对准、分析仪区域中的磁场过大或者电源的缺陷或故障，可能会出现 BE 标度线性度的偏差。这种做法不会检查或识别此类问题，而只是验证 BE 量表的线性度。
1.5 在对特定仪器的主要校准线的 BE 刻度线性度进行初步检查和重复性标准偏差测量后，给出了后续校准例行检查的简化程序。
1.6 这种做法推荐用于在恒定通过能量或固定分析器传输模式下运行并且通过能量小于200 eV的X射线光电子能谱仪；否则，根据仪器的配置，可能需要相对论方程进行校准。这种做法不应用于在延迟比小于 10 的恒定延迟比模式下运行的仪器、能量分辨率高于 1.5 eV 的仪器，或者需要在 60.03 eV 或 60.03 eV 的容限下进行 BE 测量的应用。较少的。
1.7 在配备单色铝 Kα X 射线源的仪器上，如果需要，可以使用特定俄歇电子线位置的测量来确定入射到样品上的 X 射线的平均能量。确定修改后的俄歇参数需要该信息。
1.8 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.9 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。 1 该实践由 ASTM 表面分析委员会 E42 管辖，并由俄歇电子能谱和 X 射线光电子能谱小组委员会 E42.03 直接负责。当前版本于 2016 年 11 月 1 日批准。2016 年 12 月发布。最初于 2000 年批准。上一版本于 2010 年批准为 E2108 – 10。DOI：10.1520/E2108-16。版权所有 © ASTM International，100 Barr Harbor Drive，PO Box C700，West Conshohocken，PA 19428-2959。美国 1本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

ASTM E2108-16相似标准

推荐

ASTM E2108-16 中可能用到的仪器设备

谁引用了ASTM E2108-16 更多引用