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直径最大可达50毫米的熔融石英基板的高品质规格如下:表面RMS粗糙度低至1.5 Å表面形态公差为λ/30(546 nm)缺陷密度低至5/1 x 0.025 (ISO 10110)这些参数不仅适用于标准几何形状,也可以在尺寸、形状或曲率半径不常见的基板上实现。LAYERTEC的基板符合环形下降光谱和极紫外镜的组件生产要求。...
4.形位公差:直线度、圆度、轮廓度、位置度、平行度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系:仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系;图像配准坐标系;可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具:R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。...
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