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Diekmann等利用波导片实现了照明光与探测光的完全分离,在原有的平板波导的基础上研制了可控能力更强的肋形波导和带状波导,如图2所示,将复杂的光学功能集成在以波导片为主体的通用平台上。 1582079500902167.png 图2 波导片a.在原有平板波导的基础上部分蚀刻可制成肋形波导;b.在原有平板波导的基础上完全蚀刻至SiO2底板可制成带状波导。...
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