16/30348371 DC
BS ISO 14644-12 洁净室和相关的受控环境 第十二部分 纳米级颗粒浓度监测空气洁净度规范

BS ISO 14644-12. Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration

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标准号

16/30348371 DC

发布

2016年

发布单位

英国标准学会

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