DIN EN ISO 23216 E:2022-08
碳基薄膜 通过光谱椭圆光度法测定非晶碳薄膜的光学特性(草案)

Carbon-based films Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry (draft)


标准号
DIN EN ISO 23216 E:2022-08
发布
1970年
发布单位
/
替代标准
DIN EN ISO 23216:2023-01
当前最新
DIN EN ISO 23216:2023-01
 
 

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