如MEMS陀螺仪应用在汽车上对汽车进行控制,近年随着技术的进步,MEMS陀螺仪芯片已大量用于手机等终端设备中,IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半导体器件微电子微机械器件第20部分:陀螺仪》标准来规范手机用MEMS陀螺仪芯片的生产与测试;以及IEC 62047-5《半导体器件微电子微机械器件第5部分:RF MEMS开关》用来规范通信设备用射频MEMS开关的参数要求和测试方法...
该工艺以半导体微细加工技术和超精密机械加工技术为基础,集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、接口等于一体。2010年时陀螺仪在智能手机中的采用率还仅为9%,如今几乎每部手机都会用到一到两个陀螺仪。...
另外为顺应物联网、家庭医疗、智能手机产业蓬勃发展的需要,苏州工业园区于2014年9月又建成国内首个市场化、全开放的6英寸微纳机电制造(MEMS)中试平台,主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、ZL运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务,填补了我国MEMS产业研发机构与规模代工厂之间的空白,满足了MEMS相关中小企业工艺研发和小批量生产的需求,构建了苏州工业园区...
20项推荐性国家标准(征求意见稿)序号计划号项目名称制修订截止日期120214785-T-604户外严酷条件下的电气设施 第3部分:设备及附件的一般要求修订2022/12/16220214979-Z-604依据GB/T 7251.12的成套电力开关和控制设备(PSC成套设备)中内部电弧故障抑制系统的集成制订2022/12/16320193356-T-306直接进样测汞分析方法通则制订2022/12/...
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