电子工业防微振工程技术规范 是强制性国家标准,您可以免费下载。
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10、电子工业洁净室常要根据生产工艺要求设置防静电环境,以便抑制静电的产生,将已产生的静电迅速、安全的排除。 11、电子工业洁净室友有对防微振的特殊要求,在厂地环境上应避开振动源。 12、电子工业洁净室除有一般给排水要求外,对超大规格集成电路的用水也有标准。 ...
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