主要单元是半导体探测器及多道脉冲高度分析器，用以将特征x射线按能量展i}} Er7,5的分辨率远不如波长色散谱仪，它有分析速度快的优点，和通用的x射线波长色散谱仪相比可提高10倍，如果进行物相鉴定， 只需几分钟就可以得到被测物质的全部衍射花样。...
在一段时间内，来自试样的荧光X射线依次被半导体探测器检测，得到一系列幅度与光子能量成正比的脉冲，经放大器放大后送到多道脉冲分析器（通常要1000道以上）。按脉冲幅度的大小分别统计脉冲数，脉冲幅度可以用X光子的能量标度，从而得到计数率随光子能量变化的分布曲线，即X光能谱图。能谱图经计算机进行校正，然后显示出来，其形状与波谱类似，只是横座标是光子的能量。 ...
在一段时间内，来自试样的荧光X射线依次被半导体探测器检测，得到一系列幅度与光子能量成正比的脉冲，经放大器放大后送到多道脉冲分析器（通常要1000道以上）。按脉冲幅度的大小分别统计脉冲数，脉冲幅度可以用X光子的能量标度，从而得到计数率随光子能量变化的分布曲线，即X光能谱图。能谱图经计算机进行校正，然后显示出来，其形状与波谱类似，只是横座标是光子的能量。 ...
能谱图经计算机进行校正，然后显示出来，其形状与波谱类似，只是横座标是光子的能量。图1-11 用放射性同位素fe55照射Si-PIN探测器得出的谱图图1-12 典型的多元素谱图能量色散的最大优点是可以同时测定样品中几乎所有的元素（图1-12）。因此，分析速度快。另一方面，由于能谱仪对X射线的总检测效率比波谱高，因此可以使用小功率X光管激发荧光X射线。...
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