从整个集成电路范畴讲,除半导体集成电路外,还有厚膜电路与薄膜电路。 ①厚膜电路。以陶瓷为基片,用丝网印刷和烧结等工艺手段制备无源元件和互连导线,然后与晶体管、二极管和集成电路芯片以及分立电容等元件混合组装而成。 ②薄膜电路。有全膜和混合之分。所谓全膜电路,就是指构成一个完整电路所需的全部有源元件、无源元件和互连导体,皆用薄膜工艺在绝缘基片上制成。...
什么是厚膜电路:用丝网印刷和烧结等厚膜工艺在同一基片上制作无源网络,并在其上组装分立的半导体器件芯片或单片集成电路或微型元件,再外加封装而成的混合集成电路。 ...
集成电路按制作工艺可分为半导体集成电路和膜集成电路。膜集成电路又分类厚膜集成电路和薄膜集成电路。...
主要指标:倾角误差:< 1°周期误差:< 2 nm检测效率:> 20 pcs/h单层/多层薄膜厚度检测- 集成电路设备模组 -膜厚测量解决方案 filmX:多种测试系统形态,兼容不同膜厚测量场景,实现高精度、便捷的膜厚测量,适配产线使用。...
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