GB/T 16594-1996
微米级长度的扫描电镜测量方法
Micron grade lenght measurement by SEM
GBT16594-1996, GB16594-1996
2009-05
- 标准号
- GB/T 16594-1996
- 别名
- GBT16594-1996, GB16594-1996
- 发布
- 1996年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 16594-2008
- 当前最新
- GB/T 16594-2008
- 适用范围
- 本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5~10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。