GB/T 16943-1997
电子工业用气体 氦
Gases for electronic industry--Helium
GBT16943-1997, GB16943-1997
2010-05
- 标准号
- GB/T 16943-1997
- 别名
- GBT16943-1997, GB16943-1997
- 发布
- 1997年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 16943-2009
- 当前最新
- GB/T 16943-2009
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。 分子式：He 相对分子质量：4.003（按1991年国际相对原子质量）
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